2、MOS管集成電路電阻的應用
1多晶硅電阻集成電路中的單片電阻器距離理想電阻都比較遠,在標準的MOS管工藝中,最理想的無源電阻器是多晶硅條。
ρ為電阻率;t為薄板厚度;R□=(ρ/t)為薄層電阻率,單位為Ω/□;L/W為長寬比。由于常用的薄層電阻很小,通常多晶硅最大的電阻率為100Ω/□,而設計規則又確定了多晶硅條寬度的最小值,因此高值的電阻需要很大的尺寸,由于芯片面積的限制,實際上是很難實現的。當然也可以用擴散條來做薄層電阻,但是由于工藝的不穩定性,通常很容易受溫度和電壓的影響,很難精確控制其絕對數值。寄生效果也十分明顯。無論多晶硅還是擴散層,他們的電阻的變化范圍都很大,與注入材料中的雜質濃度有關。不容易計算準確值。由于上述原因,在集成電路中經常使用有源電阻器。